固定环

cmp工艺里的抛光头是什么？

晶圆吸附：抛光头通过真空吸附或机械夹持来达到固定晶圆的目的。抛光过程中晶圆需要保持稳定，不希望发生任何的移动或滑动。这有助于实现精确的抛光控制，从而保证所需的表面平坦度。2，对晶圆施加压力：通过施加压力，抛光头确保晶圆表面与抛光垫紧密接触，促进均匀的材料去除。

国家知识产权局信息显示，深圳市蜂巢讯图创意有限公司取得一项名为“一种会展地面投影展示装置”的专利，授权公告号CN223229841U，申请日期为2024年10月。